DSM_9B
SPEEDFAM-LAPMASTERDSM9BDSM9B雙面設(shè)備為高精密、精加工或半精加工系統(tǒng)，能夠同時(shí)研磨、精磨、金剛石拋光或者軟拋光工件的兩面。DSM9B用途廣泛，可以滿足傳統(tǒng)金屬加工要求，并可加工薄的、易碎的、半導(dǎo)體及光學(xué)材料。DSM的加工工藝是將工件放置在上下旋轉(zhuǎn)的盤之間。對(duì)于軟拋光加工，在拋光盤表面貼上特殊拋光墊達(dá)到所需的粗糙度。決定SPEEDFAM-LAPMASTER雙面設(shè)備的加工質(zhì)量
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SPEEDFAM-LAPMASTER DSM 9B
DSM9B雙面設(shè)備為高精密、精加工或半精加工系統(tǒng)，能夠同時(shí)研磨、精磨、金剛石拋光或者軟拋光工件的兩面。DSM9B用途廣泛，可以滿足傳統(tǒng)金屬加工要求，并可加工薄的、易碎的、半導(dǎo)體及光學(xué)材料。
DSM的加工工藝是將工件放置在上下旋轉(zhuǎn)的盤之間。對(duì)于軟拋光加工，在拋光盤表面貼上特殊拋光墊達(dá)到所需的粗糙度。
決定SPEEDFAM-LAPMASTER雙面設(shè)備的加工質(zhì)量、速度及多功能性的關(guān)鍵是4-way運(yùn)動(dòng)原理。
4-way運(yùn)動(dòng)減少了設(shè)備的加工時(shí)間，性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過其他雙面設(shè)備的2-way, 及3-way性能。
4-way運(yùn)動(dòng)是如何實(shí)現(xiàn)的：工件裝夾在夾具內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)4-way運(yùn)動(dòng)，包括；
上下盤相對(duì)于夾具的轉(zhuǎn)速和旋轉(zhuǎn)方向（1和2）；
夾具相對(duì)于上下盤轉(zhuǎn)速及旋轉(zhuǎn)方向的旋轉(zhuǎn)/斬道運(yùn)動(dòng)；夾具總是跟下盤旋轉(zhuǎn)方向保持一致（3）；
夾具相對(duì)于上下盤轉(zhuǎn)速及旋轉(zhuǎn)方向的軸向運(yùn)動(dòng)（4）；
設(shè)備配置
硬件
4-Way 運(yùn)動(dòng)
盤面平面度主動(dòng)控制系統(tǒng)
變速控制
多電機(jī)控制 (多達(dá)4個(gè))
壓力控制系統(tǒng)
齒輪形卡具
厚度自動(dòng)控制
軟件
擺臂式觸摸屏控制系統(tǒng)
安全登錄等級(jí)
加工參數(shù)詳細(xì)的圖形顯示
PLC控制主要功能
調(diào)制解調(diào)器連接
互鎖系統(tǒng)
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